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등록 메타물질 능동소자 및 그의 제조방법

메타물질 능동소자 및 그의 제조방법
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발명자
최춘기, 최무한, 최성율
출원번호
10-2011-0062935 (2011.06.28) KIPRIS
공개번호
10-2013-0007019 (2013.01.18)
등록번호
10-1729178-0000 (2017.04.17)
출원국
대한민국
협약과제
10SB1300, 메타물질 기반 나노분해능 이미징 시스템 기술개발, 최춘기
초록
본 발명은 고속동작되는 메타물질 능동소자 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 소자는, 제 1 유전체 층과, 상기 제 1 유전체 층 상에 형성된 하부 전극과, 상기 하부 전극 상에 형성된 제 2 유전체 층과, 상기 제 2 유전체 층 상에 형성된 메타물질 패턴들과, 상기 메타물질 패턴들 및 상기 제 2 유전체 층 상에 형성된 커플 층과, 상기 커플 층 상에 형성된 제 3 유전체 층과, 상기 제 3 유전체 층 상에 형성된 상부 전극을 포함한다.
KSP 제안 키워드
Manufacturing method, active metamaterials
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 그래핀 메타물질 능동소자 미국