상세정보
등록 ＭＥＭＳ형 전기화학식 가스 센서
- 출원번호
- 10-2011-0098298 (2011.09.28) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2013-0034337 (2013.04.05)
- 등록번호
- 10-1773954-0000 (2017.08.28)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 11MB2100, 스마트and그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 김종대
- 초록
- 본 발명은 MEMS형 전기화학식 가스 센서에 관한 것으로서, 하부 중앙 영역이 일정 두께만큼 식각되어 있는 기판; 상기 기판 상부에 형성되는 제1 절연막; 상기 제1 절연막 상부에 형성되는 발열 저항체; 상기 발열 저항체 상부에 형성되는 제2 절연막; 상기 제2 절연막 상부 중앙 영역에 형성되는 기준 전극; 상기 기준 전극 상부에 형성되는 고체 전해질; 및 상기 고체 전해질 상부에 형성되는 감지 전극을 포함한다.
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 저소모전력 특성의 MEMS형 전기화학식 가스 센서 | 미국 |