11SC1400, 인공망막 이식용 생체적합성 나노-바이오 다중전극어레이 칩 기술 개발,
정상돈
초록
Provide are an electrode sensor and a method of fabricating the same. the method may include providing a substrate with a first electrode, forming a resist layer on the substrate to cover the first electrode, patterning the resist layer to expose a portion of the first electrode, forming an insulating layer on the substrate, removing the insulating layer on the resist layer and the resist layer to form a well in the insulating layer, and forming a second electrode in the well to be electrically connected to the first electrode. According to the method, it is possible to prevent the first electrode from being damaged. In addition, the second electrode may be configured have an increased surface area, and thus, the electrode can have low impedance.
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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