상세정보
등록 대면적의 나노 인쇄장치,그의 제조방법 및 그를 이용한 인쇄방법
- 출원번호
- 10-2013-0031979 (2013.03.26) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2014-0031781 (2014.03.13)
- 등록번호
- 10-2019072-0000 (2019.09.02)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명은 나노 인쇄장치, 그의 인쇄방법, 및 그를 이용한 인쇄방법을 개시한다. 그의 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 제 1 방향으로 연장되는 제 1 배선들과, 상기 제 1 배선들 상에 배치되고, 상기 제 1 배선들을 부분적으로 노출하는 홀들을 갖는 층간 절연 층과, 상기 홀들에 인접하는 상기 층간 절연 층 내에 배치되고, 상기 제 1 배선들에 교차되는 제 2 방향으로 연장되는 제 2 배선들과, 상기 제 1 배선들과 연결되어 상기 제 2 배선들과 교차되는 부분마다 상기 홀들의 중심에서 돌출되는 쐐기 전극들을 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Manufacturing method, Printing method, large area