상세정보
등록 전자소자 및 그 제조방법
- 출원번호
- 10-2013-0053136 (2013.05.10) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2014-0017423 (2014.02.11)
- 등록번호
- 10-1984031-0000 (2019.05.24)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 11MB7300, 유연성 철강소재기판상에서 효율13%를 갖는 Si/SiGe 탠덤 박막태양전지개발, 윤선진
- 초록
- 본 발명의 개념에 따른 전자소자의 제조방법은 기판 상에 평탄부 및 돌출부를 가지는 하부 전극을 형성하는 것, 상기 하부 전극 상에 중간층을 형성하는 것, 및 상기 중간층 상에 상부전극을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 상기 하부 전극을 형성하는 것은 상기 기판 상에 제1 금속을 증착하여 도전 필름을 형성하는 것, 및 상기 도전 필름 상에 제2 금속을 증착하여, 상기 제1 금속 및 상기 제2 금속의 합금을 제조하는 것을 포함할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- electronic devices
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 전자소자 및 그 제조방법 | 미국 |