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상세정보

등록 수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법

발명자
박현대, 김경옥
출원번호
2013-0112714 (2013.09.23)
등록번호
2034740 (2019.10.15)
출원국
대한민국
협약과제
13VB1800, 실리콘 나노포토닉스 기반 차세대 컴퓨터 칩기술, 김경옥
KSP 제안 키워드
Manufacturing method
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 웨이퍼 본딩을 사용한 수직 공진형 표면 방출 레이저 구조 및 제작 방법 미국