상세정보
등록 어레이형 광검출기를 제조하는 방법
- 출원번호
- 10-2013-0122052 (2013.10.14) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2015-0043064 (2015.04.22)
- 등록번호
- 10-2142885-0000 (2020.08.04)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 12SF1400, 포토닉스 집적회로 기반 테라헤르츠 무선 인터커넥션 기술 개발, 박경현
- 초록
- 광크로스토크를 줄일 수 있는 어레이형 광검출기를 제조하는 방법을 제시한다. 제시된 방법은 도핑된 기판을 준비하는 단계, 도핑된 기판의 일면상에 부도체층을 성장시키는 단계, 부도체층의 상면에 광검출기 어레이 제조층을 성장시키는 단계, 광검출기 어레이 제조층을 식각하여 광검출기 어레이를 제조하되 부도체층의 일부에까지 식각하는 단계, 도핑된 기판의 타면에 식각 마스크를 형성하는 단계, 및 식각 마스크를 통해 도핑된 기판의 타면을 식각하여 도핑된 기판의 타면에 혼 안테나 역할을 하는 어퍼쳐 어레이를 형성하는 단계를 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Array-type