상세정보
등록 파장선택형 도막 두께 측정 장치
- 출원번호
- 10-2013-0152913 (2013.12.10) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2015-0067486 (2015.06.18)
- 등록번호
- 10-2069500-0000 (2020.01.17)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 13ZI1200, 산업계 기술지원사업, 김영선
- 초록
- 본 발명은 도막의 두께를 측정함에 있어, 기존의 접촉 방식이 아닌 광음향효과와 간섭계를 이용한 비접촉식 방법을 이용하고, 도막의 색에 따라 레이저의 파장을 선택하여 도막의 두께를 측정하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 도막 두께 측정 장치는, 상기 도막에 펄스 레이저광을 조사하는 펄스 레이저 광원; 상기 도막에 CW 레이저광을 조사하는 CW 레이저 광원; 상기 CW 레이저광에 대응하는 광간섭 신호를 검침하는 검침부; 및 상기 광간섭 신호를 신호처리 하여 상기 도막의 두께를 연산하는 신호 처리부를 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Coating Thickness, Coating thickness measurement, measurement apparatus, thickness measurement