상세정보
등록 그래핀 나노 소자의 제조 방법
- 출원번호
- 10-2014-0010209 (2014.01.28) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2015-0089512 (2015.08.05)
- 등록번호
- 10-2153931-0000 (2020.09.03)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 13ZI1200, 산업계 기술지원사업, 김영선
- 초록
- 본 발명은 그래핀 나노 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 그래핀층이 형성된 기판 상에 제 1 금속 마스크 패턴을 형성하는 것 및 상기 제 1 금속 마스크 패턴을 식각 마스크로 하는 식각 공정을 수행하여 그래핀 패턴을 형성하는 것을 포함하고, 상기 제 1 금속 마스크 패턴을 형성하는 것은 상기 그래핀층에 제 1 접착층을 형성하는 것, 상기 제 1 접착층 상에 미리 준비된 상기 제 1 금속 마스크 패턴을 배치하는 것, 및 상기 제 1 접착층을 가열하여 상기 제 1 금속 마스크 패턴을 상기 기판 상에 접착시키는 것을 포함하는 그래핀 나노 소자의 제조 방법이 제공된다.
- KSP 제안 키워드
- Nano-device