상세정보
등록 안정화된 게이트 구조를 갖는 반도체 소자 및 그의 제조 방법
- 출원번호
- 10-2014-0017242 (2014.02.14) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2015-0096568 (2015.08.25)
- 등록번호
- 10-1736270-0000 (2017.05.10)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 13ZB1100, 스마트 융.복합 IT부품소재 기술개발, 남은수
- 초록
- 본 발명은 안정화된 게이트 구조를 갖는 반도체 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 0.2㎛ 이하의 선폭을 갖는 미세한 게이트 발(foot)과 임의의 크기의 게이트 머리(head)를 갖는 게이트 구조에서 지지대 역할을 할 수 있도록 게이트 머리 밑에 게이트 머리의 길이 방향을 따라 복수의 게이트 발을 추가로 갖게 하여 게이트 구조를 안정화시킨 반도체 소자 및 그의 제조방법이다. 이에 따라 공정중 혹은 공정후의 소자의 게이트가 무너져 내리는 현상을 방지하고 공정중 및 공정후에 소자의 신뢰성을 높일 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- semiconductor device
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 질화물계 반도체소자의 게이트 제조 방법 | 미국 |