상세정보
등록 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 공급 방법
- 출원번호
- 10-2016-0003727 (2016.01.12) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2017-0022839 (2017.03.02)
- 등록번호
- 10-1810926-0000 (2017.12.14)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명의 실시예들에 따른 피처리체로 플라즈마를 공급하는 플라즈마 발생 장치는, 플라즈마를 생성하는 공간을 제공하는 하우징, 하우징의 일측에 결합되는 접지 전극, 하우징의 타측에 결합되는 전원 전극 및 플라즈마의 발생 모드를 제어하는 제어기를 포함하되, 발생 모드는 플라즈마를 전원 전극과 접지 전극 사이에 발생시킨 후, 발생된 플라즈마를 피처리체로 공급하는 제 2 모드, 및 플라즈마를 전원 전극과 피처리체 사이에 발생시켜 피처리체로 공급하는 제 1 모드를 포함한다.
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 직·간접 방식을 가지는 대면적 저온 대기압 플라즈마 발생 장치 | 미국 |