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등록 반도체 장치 및 그 제작 방법

반도체 장치 및 그 제작 방법
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발명자
윤형섭, 강동민, 이종민, 민병규, 김해천, 안호균, 주철원, 임종원, 이상흥
출원번호
10-2016-0081102 (2016.06.28) KIPRIS
공개번호
10-2017-0043434 (2017.04.21)
등록번호
10-1848243-0000 (2018.04.06)
출원국
대한민국
협약과제
14PB5600, SW기반 디지털 무선통신용 핵심 모듈 및 트랜시버 개발, 윤형섭
초록
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치는, 기판, 상기 기판의 전면 위에 배치되는 버퍼층, 상기 버퍼층 위에 배치되는 채널층, 상기 채널층위에 배치되며, 제1 리세스를 가지는 쇼트키층, 기 쇼트키층 위에 배치되는 소스 및 드레인 전극, 상기 제1 리세스 내에 배치되는 게이트 전극 및 상기 소스 및 드레인 전극 중 하나, 상기 쇼트키층, 및 상기 채널층을 관통하는 연결 도전층을 포함하고, 상기 소스 및 드레인 전극 중 하나는 상기 연결 도전층에 의해 상기 기판에 전기적으로 접속된다.
KSP 제안 키워드
Fabrication method, semiconductor device