상세정보
등록 하이브리드 다이오드 소자
- 출원번호
- 10-2016-0067678 (2016.05.31) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2017-0057114 (2017.05.24)
- 등록번호
- 10-2181343-0000 (2020.11.16)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 15MB8200, 차세대 고효율 3D 융합 전력변환모듈, 고상춘
- 초록
- 본 발명의 실시예에 따른 하이브리드 다이오드 소자를 제공한다. 하이브리드 다이오드 소자는 기판 상에 배치되고, 제 1 전자 가스층(2-Dimesional Electron Gas: 2DEG)을 포함하는 제 1 하부 질화막, 상기 제 1 하부 질화막에서 상기 기판의 외각으로 연장되고, 제 2 전자 가스층을 포함하는 제 2 하부 질화막, 상기 제 1 하부 질화막 상에 배치되는 제 1 상부 질화막, 상기 제 2 하부 질화막 상에 배치되는 제 2 상부 질화막, 상기 제 1 상부 질화막 상에 배치되는 제 1 캡(cap)층, 상기 제 2 상부 질화막 상에 배치되는 제 2 캡층, 상기 제 1 하부 질화막 및 상기 제 1 캡층과 연결되는 제 1 전극 구조체, 상기 제 2 하부 질화막과 연결되고, 상기 제 1 전극 구조체와 연결되는 제 2 전극 구조체를 포함하고, 상기 제 2 하부 질화막은 동적인 움직임에 의해 전기를 생성한다.