상세정보
등록 가스 센서의 제조 방법
- 출원번호
- 10-2017-0009380 (2017.01.19) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2018-0049766 (2018.05.11)
- 등록번호
- 10-1943084-0000 (2019.01.22)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 16PB1500, 지능형 무선통신 복합 센서모듈 기반의 유해환경 통합관리 시스템, 이형근
- 초록
- 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 센서 제조 방법은 기판을 준비하는 단계, 상기 기판 상에 단면상에서 서로 이격되도록 복수의 전극들을 배치하는 단계, 및 상기 복수의 전극들을 커버하도록 가스 감지층을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 가스 감지층 형성 단계는 상기 복수의 전극들을 커버하도록 금속 산화물 전구체 및 실리카 졸이 혼합된 혼합물을 도포하는 단계, 상기 금속 산화물 전구체를 열분해하여 다공성 금속 산화물을 형성하는 단계, 및 상기 실리카 졸을 겔화(gelation)하여 실리카 겔을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 다공성 금속 산화물을 형성하는 단계 및 상기 실리카 겔을 형성하는 단계는 동일한 열처리 공정에 의해 이루어진다.
- KSP 제안 키워드
- Manufacturing method, gas sensors