등록
산소 리치 바나듐산화물 전자파 센서 및 그 시스템
- 발명자
-
김현탁, 조진철, 테티아나
- 출원번호
-
10-2018-0096337 (2018.08.17)
- 등록번호
- 10-1942094-0000 (2019.01.18)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
-
17HB2600, 휴대 단말용 급격한 전하방전 저전압 스위칭 소자 원천기술 개발,
김현탁
- 초록
- 산소 리치 바나듐산화물 전자파 센서 및 그 시스템이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 산소 리치 바나듐산화물 전자파 센서는 n형의 도펀트로 도핑된 실리콘을 포함하는 제1 물질 층; 상기 제1 물질 층 상에 배치되고, 분자식 VxOy로 표시되는 바나듐 산화물을 포함하는 제2 물질 층; 상기 제2 물질 층 상의 제1 전극; 및 상기 제1 물질 층 또는 상기 제2 물질 층 상의 제2 전극을 포함하되, 상기 제1 물질 층의 도펀트 농도는 1.0 x 1015 cm-3 보다 크고 1.0 x 1019 cm-3 보다 작고, 상기 분자식에서 x에 대한 y의 비는 2 보다 크고 2.5보다 작을 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Electromagnetic sensor, Oxygen-rich
- 패밀리
-