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상세정보

나노임프린트용 니켈스탬프 제작 기술

전수책임자
홍성훈
참여자
양용석, 유인규, 홍성훈
기술이전수
1
이전연도
2015
협약과제
15MB1700, 가시광파장용 나노결정기반 3차원 저손실 메타소재 개발, 홍성훈
이전기술은 나노임프린트용 니켈스탬프 제작 기술로서 용액공정을 사용하여 기존 공정에 비해 저가로 대면적에 니켈스탬프를 제작할 수 있는 기술임.
o 현재 반도체, 디스플레이등 첨단 산업에서 고집적 나노패턴의 필요성이 많아지고 있으며, 이에 따라 나노패턴을 경제적으로 대면적에 제작할 수 있는 나노임프린트 리소그래피 장비, 소재, 스탬프등에 대한 수요가 높아지고 있음. 이 중 나노임프린트용 스탬프는 고가로 제작, 판매되고 있으며, 이에 따라 고내구성, 대면적, 저가, 복제 스탬프 제작에 대한 산업적, 기술적 요구가 높아지고 있는 상황임.

o 기술이전 기술은 이러한 고내구성 니켈스탬프를 진공공정 없이 용액공정으로 대체 제작할 수 있는 기술로서 이를 이용하여 대면적에 니켈스탬프를 저가로 제작할 수 있는 기술임.

o 기술이전을 원하는 기업체의 경우 이러한 대면적 니켈스탬프 제조 기술과 이를 사업에 적용할 수 있는 수준의 기술 개발을 원하고 있음.

o 따라서 본 기술이전의 대상은 ETRI에서 보유중인 용액공정을 이용한 대면적 니켈스탬프 제조 특허 기술 및 이를 실제로 제조하는 공정 기술 및 노하우를 포함하고자 함.

o 본 기술이전을 원하는 대상 기업의 경우 대면적 저가 니켈스탬프 제조 기술을 보유하기를 원하며 개발이 이루어질 경우 현재 나노임프린트 생산 공정에 적용하여 이를 이용한 제품의 가격 경쟁력 확보가 가능할 것으로 판담됨
이 기술은 비진공 용액 공정을 통하여 나노임프린트용 니켈스탬프를 제작할 수 있는 기술로서 기존 기술과 비교하여 제품 제작 시간을 단축시키고, 제품 크기를 크게 확장시킬 수 있어 제품의 가격경쟁력을 향상시킨 저가 대면적 나노임프린트용 니켈스탬프를 제작할 수 있는 기술임.

o 현재 제조되는 니켈스탬프의 경우 그림 1과 같이 진공 증착 공정이 필요하여 공정 시간이 길고, 이에 따라 높은 제조 비용을 가지며, 제품 크기의 제한이 있고, 롤투롤 적용이 어렵다는 문제점이 있음.

o 그림 2에서 나타낸 바와 같이 이전기술의 경우 나노잉크 코팅기술을 이용하여 제작하는 니켈 스탬프 제조 기술로서 진공 공정없이 용액공정을 통하여 대면적에 저가로 제작할 수 있는 기술임.


그림 1. 니켈스탬프를 제작하는 기존 공정의 모식도




그림 2. 이전 기술 제조 공정의 모식도

o 이에 따라 이전기술의 경우 연속 공정으로 대면적 니켈 스탬프를 저가에 제작할 수 있는 기술이며, 이를 이용하여 니켈 스탬프 제조 가격을 획기적으로 낮출 수 있으며, 또한 이를 적용한 나노임프린트 생산 제품의 가격 경쟁력을 확보할 수 있게 됨.
나노임프린트용 니켈스탬프 제작 기술
나노임프린트용 니켈스탬프 제작 기술
- 니켈스탬프 제작용 고분자 복제물 제작 방법
- 용액공정을 통한 전도성 박막 제작
- 도금을 통한 니켈 스탬프 제작 기술
o 적용분야: 나노임프린트용 스탬프
o 기대효과: 기존 고가의 스탬프를 사용한 나노임프린팅 시장 대체