ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

논문 검색
구분 SCI
연도 ~ 키워드

상세정보

학술대회 The Highly Stable InGaZnO TFTs Deposited by High Density Plasma Sputtering
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
조성행, 황치선, 노영석, J. -R. Lee, 김성봉, S. J. Yoo, 김희옥, 권오상, 박은숙, 박상희
발행일
201502
출처
International Thin-Film Transistor Conference (ITC) 2015, pp.17-18
협약과제
14PB2600, 폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발, 조성행
KSP 제안 키워드
High-density plasma, Highly stable, InGaZnO TFTs, Plasma sputtering