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Conference Paper ALD 방법으로 증착된 Al2O3 박막의 열전도도 측정
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
최원철, 김준수, 김태광, 문승언, 신민철, 이승민
Issue Date
2015-06
Citation
한국전기전자재료학회 학술 대회 (하계) 2015, pp.1-1
Publisher
한국전기전자재료학회
Language
Korean
Type
Conference Paper