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학술대회 MEMS Piezoresistive Pressure Sensor with Substrate Inner Cavity
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저자
제창한, 우종창, 최창억, 이성규, 양우석
발행일
201509
출처
COMS Conference 2015, pp.1-2
협약과제
15ZB1500, 환경 및 사용자 적응형 MEMS 마이크로폰 솔루션 개발, 양우석
KSP 제안 키워드
MEMS piezoresistive pressure sensor