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학술대회 고밀도 플라즈마를 이용한 ZrO2 박막의 식각 특성 연구
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
우종창, 김상기, 구진근, 장명수, 강진영
발행일
200806
출처
한국전기전자재료학회 학술 대회 (하계) 2008, pp.170-171
협약과제
08MB1300, IT융복합 공동시험환경구축, 강진영