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학술대회 Multi-Channel Silicon Ring Resonator Fabricated by DUV Lithography and Temperatureinsensitive Silicon-Slot Waveguide
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이종무
발행일
200902
출처
Silicon Photonics IV (SPIE 7220), v.7220, pp.1-1
협약과제
08MB3800, NPIC 기술 구현을 위한 나노 공정 기술 연구(본과제 : 나노 플라즈모닉 집적회로), 김민수
KSP 제안 키워드
DUV lithography, Silicon ring resonator, Slot waveguide, multi-channel