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Conference Paper Sidewall 산화막을 이용한 고밀도 트렌치게이트 Power MOSFET 제작
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
김상기, 김용구, 박건식, 구진근, 유성욱, 김보우, 박성호, 강진영
Issue Date
2009-02
Citation
한국진공학회 학술 대회 (동계) 2009, pp.183-183
Publisher
한국진공학회
Language
Korean
Type
Conference Paper
KSP Keywords
power MOSFET