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학술대회 The Characterization of SiC/Si-QD Embedded A-SiN Layer by an Excimer Laser Annealing
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
김경현, 허철, 고현성, 김봉규, 김완중, 성건용
발행일
200902
출처
한국반도체 학술 대회 (KCS) 2009, pp.76-77
협약과제
08MC2500, 유비쿼터스 건강관리용 모듈 시스템, 박선희
KSP 제안 키워드
excimer laser annealing