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학술대회 Plasma-Assisted LED Wafer Dicing and Efficiency Enhancement
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저자
이종무, 배성범, 박봉제, 박선택, 주정진, 이진호
발행일
200910
출처
International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS) 2009, pp.760-761
KSP 제안 키워드
Plasma-assisted, Wafer dicing, efficiency enhancement