ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

논문 검색
구분 SCI
연도 ~ 키워드

상세정보

학술대회 Sub-30 nm Gate Template Fabrications for Nanoimprint Lithography using Spacer Patterning Technology
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
박건식, 백규하, 김동표, 우종창, 노광수, 도이미
발행일
200911
출처
International Conference on Nano Science and Nano Technologya (ICNSN) 2009, pp.1-4
KSP 제안 키워드
nanoimprint lithography, patterning technology