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Conference Paper Rf-Magnetron Sputter 증착 기술을 이용한 태양 전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성 분석
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
이성현, 윤선진, 김제하, 임정욱
Issue Date
2009-11
Citation
한국진공학회 학술 대회 (하계) 2009, pp.273-273
Publisher
한국진공학회
Language
Korean
Type
Conference Paper
KSP Keywords
RF magnetron sputter