상세정보
학술대회
Characterization of Silicon Nanowires Fabricated by Complementary Metal Oxide Semiconductor Technology
Cited - time in 
Download 0 time
Share 
Download 0 time
Share
- 저자
- 발행일
- 201207
- 출처
- International Conference on Thermoelectrics (ICT) 2012, pp.1-15
- 협약과제
- 11ZE1100, ETRI 연구역량 강화를 위한 R&D체계 구축 및 Seed형 기술개발을 위한 창의형 연구 사업, 지경용
- KSP 제안 키워드
- Complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS), Metal-oxide(MOX), Semiconductor technology, Silicon nanowires(SiNWs)