ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

논문 검색
구분 SCI
연도 ~ 키워드

상세정보

학술대회 The Properties of SiOC Thin Film via Reactive RF Magnetron Sputter Method
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
김경현, 박래만, 신재헌, 홍찬화, 김보슬, 정우석
발행일
201208
출처
International Materials Research Congress (IMRC) 2012
협약과제
12VB1700, 윈도우 일체형 30인치급 터치센서 개발, 정우석
KSP 제안 키워드
Reactive RF magnetron sputter, thin film(TF)