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학술대회 The Study of ITO Film via RF Sputter Using Hydrogen Mixed Ar Gas for Thin Film Solar Cell
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
김경현, 김주희, 박수정, 조대형, 김제하
발행일
201208
출처
International Materials Research Congress (IMRC) 2012, pp.1-1
협약과제
11MB3100, 반응성 스퍼터링을 이용한 CIGS 초박막 고효율 태양전지 기술 개발, 김제하
KSP 제안 키워드
Ar gas, ITO film, RF sputter, Thin film solar cells, thin film(TF)