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학술대회 Patterning of Submicron Scale Under Low Pressure
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
김진식, 박건식, 문재경, 남은수
발행일
201302
출처
한국 반도체 학술 대회 (KCS) 2013, pp.1-2
협약과제
13VB1700, 차세대 데이터센터용 에너지절감 반도체 기술, 남은수
KSP 제안 키워드
low pressure