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졸-겔 법으로 합성된 SnO2 박막의 급속 열처리 공정에 따른 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
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- Issue Date
- 2013-08
- Citation
- New Physics : Sae Mulli, v.63, no.8, pp.905-908
- ISSN
- 0374-4914
- Publisher
- 한국물리학회 (KPS)
- Language
- Korean
- Type
- Journal Article
- Abstract
- 본 연구에서는 졸-겔 공정에서 소결 온도 조건에 따른 SnO2 박막의구조적, 전기적 특성을 분석 하였다. 구조적 특성에서 SnO2 박막은800 ℃ 이상에서는 더 이상의 결정성 향상이일어나지 않는 것을 확인하였으며, 박막의 표면 형상이 재결정화로 인해표면요철이 증가 하였다. 전기적인 특성에서 열처리된 SnO2 박막의전자캐리어는 약 1018 ~ 1019/cm3 보였으며, 열처리온도가 증가함에 따라 캐리어 수는 감소하는 경향을 보였다. SnO2박막의 이동도는 0.83에서 4.74 cm2/Vs의 값을 가지며, 비저항은0.06에서 Ω· cm 값을 가지는 것을 확인 하였다.