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학술대회 CuInGa Precursor Thin Film Deposition by Single Target Sputtering for CIGS Solar Cell Applications
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저자
발행일
201312
출처
International Conference on Advanced Materials and Devices (ICAMD) 2013, pp.1-1
협약과제
13VE1500, 고효율 광전흡수변환 금속합금 타겟 개발, 서정대
KSP 제안 키워드
CIGS solar cell, Single target sputtering, Thin film deposition, thin film(TF)