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학술대회
Effects of Inductively Coupled Plasma on the Properties of ITO Source/Drain Electrode for ZnO-based Thin-film Transistors
Cited - time in 
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- 저자
- 발행일
- 201304
- 출처
- MRS Meeting 2013 (Spring), pp.1-1
- 협약과제
- 12VB3700, 디스플레이용 산화물 반도체 조성 및 고밀도 산화물 반도체 타켓 개발, 정우석
- KSP 제안 키워드
- Drain electrode, Inductively-coupled plasma(ICP), Thin-Film Transistor(TFT), thin film(TF)