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Conference Paper PECVD를 이용한 비정질/미세결정질 SiGe 박막의 증착 및 특성 연구
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
윤선진, 이성현, 임정욱
Issue Date
2013-07
Citation
대한전자공학회 종합 학술 대회 (하계) 2013, pp.1826-1827
Publisher
대한전자공학회
Language
Korean
Type
Conference Paper