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학술대회
Sol-gel based metal interconnector improved by carbon nanotubes (CNTs) in through silicon via (TSV) structure
Cited - time in 
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- 저자
- B.M. Sung, Roza Aseffa Lemelemu, D.G. Jung, 장원익, S.H. Kong
- 발행일
- 201411
- 출처
- International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC) 2014, pp.1-2
- 협약과제
- 14PC3300, 실시간 원격 모니터링 기능 내장형 체외진단 전 자동화 장비 개발, 장원익
- KSP 제안 키워드
- Carbon nano-tube(CNT), Sol-Gel, Through silicon vias(TSV)