상세정보
학술대회
The Fabrication of High Mobility Oxide Semiconductor Thin-Film Transistors Compatible with Back-Channel Etch Process
Cited - time in 
Download 2 time
Share 
Download 2 time
Share
- 발행일
- 201408
- 출처
- International Meeting on Information Display (IMID) 2014, pp.1-1
- 협약과제
- 14PB2600, 폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발, 조성행
- KSP 제안 키워드
- High Mobility, Oxide semiconductor, Thin-Film Transistor(TFT), back-channel etch, thin film(TF)