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학술대회 Bottom-inlet-type MEMS Acoustic Sensors based on Two Polyimide/A-Si Sacrificial Layers
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이재우, 제창한, 양우석, 권종기
발행일
201406
출처
Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT) 2014, pp.1-2
협약과제
14MB1600, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 권종기
KSP 제안 키워드
A-Si, Acoustic Sensor, Sacrificial layer