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학술대회 Multilevel Interconnection Technology using New Pillar Formation Method and CMP Planarization
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
박민, 김기홍, 박종문, 김상기, 현영철, 구진근, 남기수
발행일
199602
출처
International Chemical-Mechanical Polish for VLSI/ULSI Multilevel Interconnection Conference (CMP-MIC) 1996, pp.291-298
협약과제
96MM2200, 실리콘 RF 집적회로 소자기술 연구, 남기수
KSP 제안 키워드
Multilevel interconnection