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학술대회 ALD 방법으로 증착된 Al2O3 박막의 열전도도 측정
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
최원철, 김수정, 정현달, 김준수, 전동석, 정태형, 남은수, 이승민, 문승언
발행일
201502
출처
강유전체 연합 심포지엄 2015, pp.106-106
협약과제
14ZB1300, 실리콘기반 이종접합형 다차원 열전소자 기술, 문승언