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학술대회 The Highly Stable InGaZnO TFTs Deposited by High Density Plasma Sputtering
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저자
조성행, 황치선, 노영석, J. -R. Lee, 김성봉, S. J. Yoo, 김희옥, 권오상, 박은숙, 박상희
발행일
201502
출처
International Thin-Film Transistor Conference (ITC) 2015, pp.17-18
KSP 제안 키워드
High density plasma, Highly stable, InGaZnO TFTs, Plasma sputtering