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학술대회 Effects of O/sub 2//C/sub 2/F/sub 6/ plasma descum with RF cleaning on via formation in MCM-D substrate using photosensitive BCB
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
주철원, 박성수, 김성진, 백규하, 이희태, 송민규
발행일
200105
출처
Electronic Components and Technology Conference (ECTC) 2001, pp.1-3
DOI
https://dx.doi.org/10.1109/ECTC.2001.927983
KSP 제안 키워드
Computer simulation(MC and MD), via formation