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Conference Paper 복제 성형과 산소 플라즈마 에칭을 이용한 대면적 계층 구조 어레이 제작
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Authors
이봉국, 백인복, 김약연, 장원익, 윤용선, 유한영
Issue Date
2015-02
Citation
나노 임프린트·몰딩·프린트 학술 대회 (nano-IMP) 2015, pp.1-2
Language
Korean
Type
Conference Paper