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학술대회 A Capacitive-Type MEMS Acoustic Sensor with a Diaphragm of Al/Si3N4/Al Based on a Polyimide Sacrificial Layer
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이재우, 제창한, 김이경, 이성규, 양우석, 이상국
발행일
201501
출처
International Conference on Electronics, Information and Communication (ICEIC) 2015, pp.228-229
협약과제
14MB1600, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 권종기
KSP 제안 키워드
Acoustic Sensor, Capacitive-type, Sacrificial layer