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Type SCI
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Conference Paper 이중 희생층이 적용된 콘덴서형 멤스 음향 센서
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Authors
이재우, 전주현, 제창한, 김이경, 이성규, 양우석, 이상국
Issue Date
2015-04
Citation
마이크로나노시스템학회 한국 MEMS 학술 대회 2015, pp.139-140
Language
Korean
Type
Conference Paper
Project Code
14MB1600, Development of self-powered smart sensor node platform for smart&green building, Kwon Jong-Kee