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학술대회 이중 희생층이 적용된 콘덴서형 멤스 음향 센서
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이재우, 전주현, 제창한, 김이경, 이성규, 양우석, 이상국
발행일
201504
출처
마이크로나노시스템학회 한국 MEMS 학술 대회 2015, pp.139-140
협약과제
14MB1600, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 권종기