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학술대회 Thermal Conductivity of Thin Film Al2O3 Grown by Atomic Layer Deposition
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저자
김준수, 최원철, 김수정, 김태광, 정현달, 전동석, 정태형, 남은수, 문승언, 이승민
발행일
201505
출처
European Materials Research Society (E-MRS) Meeting 2015 (Spring), pp.1-1
협약과제
15ZB1300, 실리콘기반 이종접합형 다차원 열전소자 기술, 문승언
KSP 제안 키워드
Atomic Layer Deposition, thermal conductivity, thin film(TF)