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학술대회 ALD 방법으로 증착된 Al2O3 박막의 열전도도 측정
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
최원철, 김준수, 김태광, 문승언, 신민철, 이승민
발행일
201506
출처
한국전기전자재료학회 학술 대회 (하계) 2015, pp.1-1
협약과제
15ZB1300, 실리콘기반 이종접합형 다차원 열전소자 기술, 문승언