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펄스 DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 Zn1-xCoxO 박막의 미세조직 및 자기적 특성
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- Authors
- 고윤덕, 고석배, 최문순, 태원필, 김기출, 김종민, 서수정, 김용성
- Issue Date
- 2005-11
- Citation
- 한국세라믹학회지, v.42, no.3, pp.211-217
- ISSN
- 1229-7801
- Publisher
- 한국세라믹학회
- Language
- Korean
- Type
- Journal Article
- Abstract
- 펄스 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Co 농도 변화에 따라 유리 기판 위에 Zn1-XCoXO 박막을 제조하였다. Co 농도의 증가에 따라 Zn1-XCoXO 박막의 c축 결정 배향성은 향상되었다. 표면 형상 분석을 통하여 매우 치밀한 박막이 성장되었음을 알 수 있었다. 박막의 UV-visible 투과율 측정 결과, Co2+ 이온에 의한 sp-d 상호교환 작용과 d-d 천이를 확인할 수 있었다. Zn1-XCoXO 박막의 비저항은 10-2~10-3 Ω㎝대의 값을 가지며 Co 농도의 증가에 따라 박막의 비저항은 증가하였고, 특히 30 at.% Co에서는 박막의 결정성 저하로 인하여 급격한 비저항 증가가 발생하였다. X-ray photoelectron spectroscopy 분석을 통해 Co와 O 간의 결합 상태를 확인하였으며, alternating gradient magnetometer 측정 결과 Zn1-XCoXO 박막의 상온 강자성 이력 현상을 관찰할 수 있었다. 낮은 비저항 및 상온 강자성 이력 특성을 갖는 Zn1-XCoXO 박막은 자성 반도체 소자로의 응용 가능성을 나타내었다.
- KSP Keywords
- UV-Visible, X-ray Photoelectron Spectroscopy