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실리콘 기반 압력 센서 기술 동향
- Issue Date
- 2005-12
- Citation
- 주간기술동향, v.1225, pp.1-13
- ISSN
- 1225-6447
- Publisher
- 정보통신기술진흥센터 (IITP)
- Language
- Korean
- Type
- Journal Article
- Abstract
- 1961년 실리콘 기반 센서가 시연된 이후 최신의 반도체 기반 센서는 부품의 소형화와 다기능화가 가능해졌다. 과거 기계식 센서에 비해 반도체 기반 센서는 정확도와 제품간 편차가 적은 양질의 센서를 개발할 수 있게 되었다. 또한 반도체 기반 센서는 외부 환경의 변화에 따른 반응속도가 빠르고 실측된 데이터를 컴퓨터나 기계가 인식할 수 있는 전기적 신호로 변환하여 주기 때문에 산업, 서비스, 학계에서 널리 사용되고 있다. 본 고에서는 온도, 가스, 압력, 가속도, 위치 등을 인식하는 다양한 센서 중 전세계적으로 가장 활발하게 연구가 진행 중인 압력 센서에 대해 다루며, 각국의 동향 및 국내 현황에 대해 다룬다. 또한 현재 실리콘 기반 반도체 센서에 대해 소개하였으며 마지막으로 향후 전망에 대해 다루고자 한다.
This work is distributed under the term of Korea Open Government License (KOGL)
(Type 2: : Type 1 + Commercial Use Prohibition)
(Type 2: : Type 1 + Commercial Use Prohibition)
