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학술지
전자 렌즈 Aperture 구조에 따른 마이크로 칼럼의 전자 빔 특성
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- 저자
- 최상국, 이천희
- 발행일
- 200510
- 출처
- 한국광학회지, v.16 no.5, pp.428-432
- ISSN
- 1225-6285
- 출판사
- 한국광학회
- 협약과제
- 04MB2800, 50nm급 차세대 리소그라피 기술, 김대용
- 초록
- 마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈는 MEMS 공정으로 정밀하게 가공되어 기존의 전자칼럼에 비하여 광학수차를 최소화 할 수 있으며, 이는 전자칼럼의 성능 향상에 주요한 요소로 작용한다. 따라서 반도체 공정 방식(습식식각과 건식식각)에 의해 형성되는 렌즈 구조에 따른 전자 광학계 연구는 중요한 의미가 있다. 마이크로칼럼을 구성하고 있는 전자방출원, 소스렌즈, 디플렉터, 포커스렌즈(Einzel lens) 중에서 전자빔의 특성에 가장 큰 영향을 주는 것은 소스렌즈이다. 본 연구에서는 소스렌즈의 extractor와 limiting aperture의 구조에 따른 전자빔 특성을 조사하였다.
- KSP 제안 키워드
- Einzel lens