Objective. Nanoporous gold (Au) structures can reduce the impedance and enhance the charge injection capability of multi-electrode arrays (MEAs) used for interfacing neuronal networks. Even though there are various nanoporous Au preparation techniques, fabrication of MEA based on low-cost electro-codeposition of Ag:Au has not been performed. In this work, we have modified a Au MEA via the electro-codeposition of Ag:Au alloy, followed by the chemical etching of Ag, and report on the in vitro extracellular recording and stimulation performance of the nanoporous Au-modified MEA. Approach. Ag:Au alloy was electro-codeposited on a bilayer lift-off resist sputter-deposition passivated Au MEA followed by chemical etching of Ag to form a porous Au structure. Main results. The porous Au structure was analyzed by scanning electron microscopy and tunneling electron microscopy and found to have an interconnected nanoporous Au structure. The impedance value of the nanoporous Au-modified MEA is 15.4 0.55 k廓 at 1 kHz, accompanied by the base noise V rms of 2.4 0.3 μV. The charge injection limit of the nanoporous Au-modified electrode estimated from voltage transient measurement is approximately 1 mC cm-2, which is comparable to roughened platinum and carbon nanotube electrodes. The charge injection capability of the nanoporous Au-modified MEA was confirmed by observing stimulus-induced spikes at above 0.2 V. The nanoporous Au-modified MEA showed mechanical durability upon ultrasonic treatment for up to an hour. Significance. Electro-codeposition of Ag:Au alloy combined with chemical etching Ag is a low-cost process for fabricating nanoporous Au-modified MEA suitable for establishing the stimulus-response relationship of cultured neuronal networks.
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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